必赢亚洲电子原子层沉积系统通过大规模产线验证
- 分类:公司新闻
- 宣布时间:2016-10-25
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【提要形貌】克日,嘉兴必赢亚洲电子装备有限公司生产型原子层沉积装备乐成通过大型微电子、MEMS制造企业产线验证,成为海内首个进入大批量制造工业化市场的原子层沉积机型。
必赢亚洲电子原子层沉积系统通过大规模产线验证
【提要形貌】克日,嘉兴必赢亚洲电子装备有限公司生产型原子层沉积装备乐成通过大型微电子、MEMS制造企业产线验证,成为海内首个进入大批量制造工业化市场的原子层沉积机型。
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具有LOAD-LOCK腔室的ALD机台
克日,嘉兴必赢亚洲电子装备有限公司生产型原子层沉积装备乐成通过大型微电子、MEMS制造企业产线验证,成为海内首个进入大批量制造工业化市场的原子层沉积机型。
双方工程师在ALD装备前合影留念
在生产线上,工厂手艺职员及必赢亚洲驻厂工程师对该机型举行了3个月的严酷验证。匀称性、重复性、沟槽笼罩性、颗粒度、生产效率、可靠性等方面的测试均批注,必赢亚洲电子原子层沉积系统的装备质量和手艺指标抵达了国际领先水平,足以知足大批量一连生产的需要。
必赢亚洲电子原子层沉积系统在大规模生产线的乐成验证,突破了入口装备在工业化市场的垄断职位,替换了相关行业的入口装备,是微电子、MEMS、光伏、LED等行业手艺立异和工业升级的主要动力。
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中科院理化所向导考察嘉兴必赢亚洲电子
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